臭氧由三個(gè)氧原子組成，是氧的同素異形體。其分子式為O3，分子量為48。在常溫常壓下，O3是一種淡藍(lán)色氣體，有特殊的腥味。當(dāng)濃度適中時(shí)，有一種“清新”的氣味。在常溫下，臭氧不穩(wěn)定，會(huì)自行分解成O2和單原子O。兩個(gè)單原子O可以結(jié)合成O2。單原子氧非?；顫?，具有很強(qiáng)的氧化性。它的氧化能力是氯的兩倍，反應(yīng)快，滅菌速度比氯快600-3000倍，幾秒鐘內(nèi)就能殺死細(xì)菌和病毒。

臭氧發(fā)生器的滅菌效果很強(qiáng)，能夠快速、強(qiáng)力地殺滅水、空氣和附著表面的各種細(xì)菌、病原微生物、病毒、真菌和原生動(dòng)物。臭氧處理具有反應(yīng)速度快、效率高、無殘留、無二次污染的優(yōu)點(diǎn)。

臭氧滅菌主要依靠分解后或溶于水中產(chǎn)生的單原子氧(O)和羥基(OH)的強(qiáng)氧化能力。臭氧首先與細(xì)胞壁和細(xì)胞膜的脂質(zhì)雙鍵發(fā)生反應(yīng)，然后通過細(xì)胞壁和細(xì)胞膜進(jìn)入細(xì)胞，它作用于外被脂蛋白和內(nèi)脂多糖漿，改變內(nèi)膜的通透性，導(dǎo)致內(nèi)膜漏出，終導(dǎo)致細(xì)胞裂解死亡。

臭氧是一種強(qiáng)氧化劑，屬于消毒中的過氧化物消毒劑，具有廣譜、效率高的滅菌效果，對(duì)空氣微生物有強(qiáng)大的殺滅作用，低于容許濃度(0.2mg/m)的臭氧，即對(duì)于一般細(xì)菌繁殖體，臭氧發(fā)生器的滅菌效果非常明顯，特別是在病房當(dāng)中。采用30mg/m 濃度的臭氧，作用15分鐘，對(duì)自然菌的殺滅率達(dá)到92% 以上，對(duì)氣溶膠中的金黃色葡萄球菌，用0.12mg/m的臭氧作用30分種，殺滅率可達(dá)99.9%以上；對(duì)氣溶膠中的枯草桿菌黑色變種芽胞，用5.67mg/m的臭氧作用60分種，殺滅率可達(dá)到99%以上。臭氧對(duì)付細(xì)菌的方法，是將細(xì)菌的細(xì)胞體直接氧化，即破壞其DNA的基因而達(dá)到抑制的效果。